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TSI9110粒子計(jì)數(shù)器
粒子計(jì)數(shù)器，包括手持設(shè)備、便攜設(shè)備，和遙控器，都是為了滿足電子產(chǎn)品的要求而設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)用。AeroTrak粒子計(jì)數(shù)器符合ISO 21501-4中規(guī)定的嚴(yán)格要求。該粒子計(jì)數(shù)器專為潔凈室監(jiān)控，過程工具監(jiān)控和過濾器測(cè)試應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
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